Графітові нагрівальні елементи

Графітові нагрівальні елементи виготовляються з високочистого ізостатичного графіту (чистота ≥99.95%) з високою точністю та призначені для екстремально високих температур (до 3000°C) та складних умов процесу. Завдяки своїй чудовій термостійкості, низькому коефіцієнту теплового розширення та стабільному опору, ці елементи широко використовуються в процесах виробництва напівпровідникових ядер, таких як печі для вирощування монокристалів, обладнання для хіміко-хімічного осаджування (CVD), епітаксіальне осадження та високотемпературний відпал. Вони також використовуються у високотехнологічних сферах, таких як вакуумні печі для наукових досліджень та теплові поля для аерокосмічних матеріалів.

Застосування:

Графітові нагрівальні елементи розроблені для високотемпературних, суворих умов експлуатації та широко використовуються у вакуумних печах, системах вирощування монокристалів та виробництві напівпровідників. Вони в основному використовуються в процесах CVD-осадження, епітаксіального вирощування та високотемпературного відпалу в напівпровідникових процесах. Вони також надзвичайно добре працюють у системах термічного поля для вирощування монокристалів кремнію та підготовки кристалів сапфіру у фотоелектричній промисловості.

Послуги, які можуть бути надані:

аналіз сценарію заявки клієнта, підбір матеріалів, вирішення технічних проблем.

Профіль компанії:

Semixlab має 2 лабораторії, команду експертів із 20-річним досвідом роботи з матеріалами, з можливостями науково-дослідних і розробних робіт, виробництва, випробувань і перевірки.

Технічні параметри

Основні сфери застосування

Підтвердження перевірки екологічного ланцюга

Екологічний ланцюг перевірки графітових нагрівальних елементів Semixlab охоплює весь процес від сировини до виробництва, вони пройшли міжнародну сертифікацію та мають низку запатентованих технологій, що забезпечують їхню надійність та стійкість у галузях напівпровідників та нової енергетики.

Щоб отримати детальні технічні характеристики, офіційні документи або домовленості про тестування зразків, зверніться до нашої служби технічної підтримки, щоб дізнатися, як Semixlab може підвищити ефективність ваших процесів.

Основні переваги нагрівальних елементів Semixlab Graphite

Відмінна стійкість до високих температур

Графітові нагрівальні елементи використовують високочистий ізостатичний графіт, що забезпечує тривалу стабільну роботу в екстремально високих температурах. Графіт стійкий до розм'якшення та деформації за високих температур, а також усуває ризик випаровування та забруднення, що значно подовжує термін його служби. Ці елементи особливо добре підходять для високотемпературних процесів, що потребують вакууму або захисту від інертного газу, таких як вирощування кристалів карбіду кремнію та високотемпературне спікання.

Рівномірний та стабільний розподіл теплового поля

Наші графітові нагрівальні елементи досягають рівномірності температури в печі ≤±5°C, забезпечуючи рівномірний нагрів матеріалу. Ця характеристика має вирішальне значення для таких процесів, як вирощування монокристалів кремнію та епітаксіальне осадження напівпровідників, ефективно зменшуючи дефекти кристалічної решітки та підвищуючи вихід продукції.

Висока чистота та низький рівень забруднення

Вміст золи в сировині суворо контролюється, і майже жодні домішки не осідають у високотемпературному середовищі, що дозволяє уникнути забруднення пластин або компонентів термічного поля. Він особливо підходить для виробництва напівпровідників (таких як процеси CVD пластин) та термічної обробки високочистих матеріалів, забезпечуючи чистоту технологічної камери.

Швидка реакція та енергозбереження

Висока теплопровідність графіту в поєднанні з оптимізованою структурною конструкцією збільшує швидкість нагрівання нагрівального елемента та скорочує технологічні цикли. Крім того, його електричний опір точно відповідає джерелу живлення, що призводить до економії енергії від 15% до 30% порівняно з традиційними металевими нагрівачами, знижуючи довгострокові експлуатаційні витрати.