CVD покриття з карбіду кремнію (SiC).

CVD SiC-покриття – це, по суті, шар карбіду кремнію, нанесений на графіт, і воно широко використовується в епітаксійних інструментах, де важливі як температура, так і чистота. На реальних виробничих лініях ви часто побачите його в системах AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, а також на деяких платформах, пов'язаних з AMAT. Його корисним робить не лише термостійкість, але й загальна стабільність протягом тривалих періодів. За типових умов епітаксії – водень, аміак або навіть хлоровані гази – покриття залишається відносно стабільним і захищає графіт під ним. Це допомагає підтримувати більш стабільне теплове поле та зменшує ймовірність появи частинок під час росту.

Найчастіше покриття наноситься на такі деталі, як токоприймачі, носії пластин, графітові кільця або компоненти у формі півмісяця. Усі вони безпосередньо пов'язані з нагріванням або позиціонуванням пластин, тому будь-яка незначна нестабільність може вплинути на вихід продукції. З цієї причини деталі з покриттям часто розглядаються як витратні матеріали, які все ще повинні бути надійними протягом кількох циклів, особливо при виробництві від 4 до 12 дюймів.