Човник з покриттям SiC методом CVD для окислення та дифузії

У Semixlab ми виготовляємо човни для пластин з покриттям з карбіду кремнію (SiC) для вимогливих напівпровідникових середовищ, де дійсно важливі стабільність, чистота та тривалий термін служби.

Ми починаємо з високочистої карбідокремнієвої кераміки (SiC кераміка, чистота понад 99.9%) та наносимо щільне покриття з карбіду кремнію CVD (CVD SiC) з чистотою 6N. Таким чином, наші човни зберігають свою структурну стабільність навіть після багаторазового нагрівання та охолодження, а також допомагають знизити ризики забруднення під час виробництва.

Що ж таке, власне, човен з пластиною, покритий карбідом кремнію (SiC)?

Човник для пластин – це, по суті, носій, який утримує кілька пластин під час термічної обробки. Він утримує пластини на правильній відстані та опорі, забезпечуючи рівномірну передачу тепла по них.

Порівняно зі звичайними графітовими носіями пластин, вдосконалені керамічні човники для пластин SiC пропонують кращу термічну стабільність, контроль чистоти та стійкість до окислення в середовищах напівпровідникових печей. Але в агресивних умовах напівпровідників – з часом – можуть виникнути такі речі, як окислення поверхні, відшаровування частинок або хімічна ерозія.

Ось чому люди часто обирають покриття SiC.

Шар карбіду кремнію утворює щільне захисне покриття на поверхні графіту. Це покращує:

-Стійкість до окислення

-Хімічна корозійна стійкість

-Твердість поверхні

-Контроль частинок

- Як довго служить деталь

Ось чому човники з пластинами з покриттям із CVD-кремнію широко використовуються в окислювальних печах, дифузійних печах та інших системах термічної обробки з високим рівнем чистоти.

Основні характеристики човників із пластин із покриттям SiC від Semixlab

Високочиста поверхня

Домішки можуть безпосередньо вплинути на вихід ваших пластин. Ми оптимізуємо наш процес покриття для забезпечення чистоти напівпровідникового класу, щоб допомогти мінімізувати забруднення металами під час виробництва.

Велика термічна стабільність

Під час окислювальної та дифузійної обробки вафельні човники повинні зберігати розмірну стабільність та надчисту поверхню за умови повторюваних циклів високої температури. Наші вафельні човники розроблені таким чином, щоб зберігати свої розміри протягом повторюваних циклів нагрівання та охолодження.

Низький рівень утворення частинок

Оскільки поверхня ущільнена, оголюється менше графіту, а це означає, що менше частинок відшаровується, і ви отримуєте чистіше технологічне середовище.

Рівномірне покриття

Складні структури пазів та кутів потребують однакової товщини покриття. Наш власний процес покриття допомагає нам досягти кращої однорідності поверхні по всій деталі.

Можливість індивідуальної обробки

Різні платформи обладнання потребують різних розмірів. Ми підтримуємо індивідуальні конструкції на основі ваших креслень або вимог процесу.

Виробництво та контроль якості

Кожен вафельний човник проходить прецизійну керамічну обробку, підготовку поверхні та нанесення високочистого покриття з карбіду кремнію методом химічного осадження (CVD).

У Semixlab кожна деталь проходить:

-Інспекція сировини

-Прецизійна обробка на верстатах з ЧПК

-Обробка поверхонь

-CVD SiC покриття

-Перевірка розмірів

-Остаточний зовнішній вигляд та перевірка якості

Ми робимо це для того, щоб ви отримали надійну роботу ще до того, як деталь потрапить у ваш інструмент.

Чому варто вибрати Semixlab?

Ми є спеціалізованим виробником напівпровідникових графітових компонентів та покриттів. Ми допомагаємо клієнтам з:

-Власна технологія покриття

-Гнучке виробництво на замовлення

-Швидке інженерне спілкування

-Знання напівпровідникових процесів

-Стабільні можливості міжнародних поставок

Незалежно від того, чи ви розробляєте обладнання, запускаєте пілотну лінію чи займаєтесь масовим виробництвом, наша команда інженерів може задовольнити ваші потреби у застосуванні.

Якщо ви шукаєте надійного постачальника вафельних човнів з покриттям з карбіду кремнію, Semixlab може запропонувати вам індивідуальні рішення на основі ваших креслень або умов процесу.

Фактичні характеристики можуть бути скориговані залежно від умов вашого застосування.

Наші вафельні човники з покриттям з карбіду кремнію широко використовуються в:

● Печі для окислення напівпровідників

● Напівпровідникові дифузійні печі

● Системи термічного відпалу

● Обладнання для термічної обробки напівпровідників

● Передові застосування досліджень та розробок у напівпровідниках

● Процеси відпалу

● Дослідження напівпровідникових матеріалів за високих температур