Виробник графітових тосцеприймачів з покриттям SiC методом CVD для MOCVD та епітаксії

огляд товару

В епітаксіальному зростанні сусцептор безпосередньо впливає на рівномірність нагрівання пластин і на те, наскільки стабільним залишається середовище вирощування протягом усього циклу. Сусцептори Semixlab з покриттям SiC методом CVD виготовлені з щільного графіту та покриті нашим процесом SiC. Що вони дають?

● Пристойна теплопровідність

● Рівномірні температурні профілі по всій пластині

● Надійна стійкість до технологічних хімікатів

● Низький рівень виділення частинок

● Збільшений термін служби деталей у гарячих зонах

CVD-покриття утворює щільну оболонку SiC, яка захищає графіт від агресивних газів і підвищує загальну міцність компонента.

Ключові особливості

Графітовий субстрат високої чистоти

Ми використовуємо марки графіту, які забезпечують:

● Низький вміст домішок

● Передбачувана механічна реакція

● Достатня теплопровідність

● Добра стійкість до термічних ударів

Цей графіт добре витримує цикли швидкого нагрівання та охолодження.

Рівномірне покриття SiC CVD

Шар SiC забезпечує:

● Висока твердість поверхні

● Достатній захист від окислення

● Покращена стійкість до корозії

● Менший ризик зараження

Товщину покриття та обробку поверхні можна змінювати залежно від вашого конкретного процесу.

Відмінна теплова однорідність

Отримання стабільного теплового поля є невід'ємною частиною епітаксії. Поєднання провідності графіту та властивостей поверхні SiC допомагає забезпечити:

● Рівномірна температура пластин

● Стабільніша обробка

● Краща повторюваність від запуску до запуску

Стійкість до високих температур

Ці токоприймачі створені для роботи в складних умовах напівпровідникової техніки:

● Високі робочі температури

● Часті термічні цикли

● Стійка стабільність процесу протягом тривалого часу

Чому варто обрати Semixlab?

Передова технологія покриття CVD

Ми маємо практичний досвід роботи з вуглецевими матеріалами та покриттями CVD, і ми можемо адаптувати графітові компоненти з покриттям SiC до вашого конкретного напівпровідникового застосування.

Можливості індивідуального виробництва

Ми обробляємо:

● Прототипи

● Невеликі пробіги

● Об'ємне виробництво

● Індивідуальні розміри та дизайни

Контроль якості

Кожна деталь перевіряється на:

● Точність розмірів

● Стан поверхні

● Рівномірність покриття

● Надійність процесу