Жорсткий графітовий фетр

Жорсткий графітовий повсть (RGF) від Semixlab розроблений як критично важливий високотемпературний ізоляційний та терморегулюючий компонент для росту монокристалів SiC методом фізичного паропереносу (PVT). Розроблений для використання у виробництві пластин 4H- та 6H-SiC наступного покоління, цей жорсткий повсть поєднує наднизьку теплопровідність, високу структурну цілісність та виняткову хімічну чистоту, що робить його основним матеріалом у високопродуктивних сублімаційних печах SiC. Його застосування забезпечує точний контроль температурних градієнтів, стабільні умови росту та покращену якість кристалів протягом тривалих виробничих циклів.

У процесі PVT з використанням SiC підтримка постійного та однорідного теплового поля є надзвичайно важливою для досягнення бездефектних монокристалів. Графітовий твердий повсть служить основною ізоляцією печі, оточуючи тигель для сублімації та структури теплового поля. Його низька теплопровідність зменшує небажані втрати тепла, підтримуючи цільовий градієнт температури між джерелом SiC та зародковим кристалом. Контролюючи радіальні та осьові температурні профілі, RGF мінімізує утворення дислокацій базальної площини, дефектів укладання та мікротрубок, що безпосередньо впливає на структурну цілісність та електронні характеристики отриманих пластин SiC.

Окрім теплоізоляційних властивостей, жорстка структура графітового повсті Semixlab забезпечує механічну стабільність у високотемпературних середовищах, що перевищують 2000°C. На відміну від гнучких або м'яких повстей, RGF зберігає свою форму при тривалому термоциклуванні, запобігаючи руйнуванню або деформації, які можуть порушити теплове поле або погіршити термін служби печі. Його хімічна інертність забезпечує мінімальне виділення частинок і запобігає забрудненню SiC-булі, що є критично важливим для виробництва високоомних підкладок для силової електроніки та пристроїв із широкою забороненою зоною.

Виготовлений з використанням високочистого графітового вуглецю та передових методів ущільнення, Semixlab Graphite Rigid Felt демонструє рівномірну щільність, чудову розмірну стабільність та довговічність. Його поєднання теплових характеристик та механічної жорсткості дозволяє напівпровідниковим фабрикам досягати стабільних темпів зростання, відтворюваних температурних профілів та скорочувати час простою в PVT системах. Оптимізуючи тепловий ККД печі, RGF також сприяє економії енергії, одночасно підвищуючи однорідність та вихід пластин.

Жорсткий графітовий фетр Semixlab пропонує продуктивність, чистоту та структурну стабільність, необхідні для підтримки вирощування високоякісних монокристалів SiC, надаючи виробникам надійне матеріальне рішення для виробництва пластин наступного покоління, подовжений термін служби печі та чудовий термічний контроль в умовах екстремально високих температур.