Кварцові деталі

Кварц досі використовується повсюдно в обробці напівпровідників. Він не новий, але надійний, і більшість заводів знайомі з його поведінкою. За умови контролю чистоти він добре працює на етапах дифузії, окислення та очищення.

Багато кварцових деталей використовуються в системах печей або інструментах PECVD. Головним очікуванням є стабільність — не обов'язково тривалий термін служби, але передбачувана продуктивність. Цього зазвичай достатньо для багатьох стандартних процесів.

Звичайно, кварц має свої обмеження. Він може зношуватися швидше за певних умов, особливо порівняно з SiC. Але оскільки його відносно легко знайти, і він не надто дорогий, люди все ще досить часто його використовують.