EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Носій з високочистої кварцової пластини
Носії для високочистих кварцових пластин від Semixlab (також відомі як кварцові човни для пластин) призначені для точного поводження з пластинами в передових напівпровідникових процесах, включаючи дифузію, окислення, LPCVD, ALD, відпал та очищення пластин. Виготовлені з плавленого кварцу з чистотою 99.99%, вони забезпечують чудову термічну стабільність, низький рівень утворення частинок та чудову хімічну стійкість. Ми пропонуємо виготовлення на замовлення, технічну підтримку для конкретних процесів та відбір прототипів, щоб задовольнити потреби світових виробників напівпровідників.
Опис
Носій для високочистих кварцових пластин (також відомий як човен для високочистих кварцових пластин) є критично важливим компонентом у процесах виготовлення напівпровідників. Розроблений для надійного утримання та транспортування кремнієвих пластин, він забезпечує точне вирівнювання пластин під час процесів дифузії, окислення, LPCVD, ALD, відпалу та очищення.
Його високочиста кварцова конструкція запобігає забрудненню та підтримує цілісність пластин, забезпечуючи стабільний вихід продукції та оптимальну продуктивність у чистих приміщеннях.
Матеріал та фізичні властивості
●Матеріал: 99.99% високочистий синтетичний плавлений кварц
Основні фізичні властивості та параметри:
●Чистота: ≥ 4N (99.99%) – мінімізує забруднення металами та частинками
●Термостійкість: стабільна до 1,050°C – 1,200°C у безперервному режимі роботи
●Термостійкість: Низький коефіцієнт теплового розширення (0.55×10⁻⁶/°C)
забезпечує довговічність при швидких перепадах температури
●Хімічна стабільність: Відмінна стійкість до кислотних та лужних технологічних газів
●Точність розмірів: Допуск у межах ±0.05 мм для рівномірного розташування пластин
●Оздоблення поверхні: Ультрагладкі поліровані поверхні (Ra ≤ 0.2 мкм) для запобігання подряпинам на пластині
●Прозорість: Висока пропускальність ультрафіолетового та інфрачервоного випромінювання для оптичного моніторингу процесів
додатків
Застосування високочистих кварцових носіїв пластин у різних процесах
Універсальність високочистих кварцових носіїв пластин поширюється на широкий спектр етапів виробництва напівпровідників. Їхня міцна конструкція та цілісність матеріалу забезпечують оптимальну продуктивність навіть у найскладніших умовах:
●Дифузійні та окислювальні печі: У цих критичних термічних процесах наші кварцові човнички для пластин забезпечують стабільну та безпечну для забруднення опору для пластин. Їх висока термічна стабільність та низьке теплове розширення запобігають навантаженню пластин, забезпечуючи рівномірний ріст плівки та профілі легування, необхідні для функціональності пристрою.
●Хімічне осадження з парової фази (ХОФ): Під час CVD тонкі плівки осаджуються на пластини. Наші кварцові носії зберігають свою структурну цілісність і чистоту навіть за наявності реакційноздатних газів і високих температур, запобігаючи утворенню частинок і забезпечуючи високоякісне осадження плівок.
●Відпал: Постімплантаційний відпал вимагає точного контролю температури. Кварцові носії забезпечують рівномірний розподіл тепла по всій пластині, сприяючи відновленню кристалічної решітки та активації легуючих домішок без внесення домішок.
●Вологе травлення та очищення: Хоча кварцові човники зазвичай використовуються в сухих процесах, їх також застосовують у певних вологих умовах, де їхня хімічна інертність до широкого спектру кислот (за винятком HF) є корисною для утримання пластин під час певних етапів очищення або травлення.
●Іонна імплантація: Хоча вони безпосередньо не беруть участі в самій імплантації, кварцові носії використовуються для завантаження та вивантаження пластин в імплантатор, забезпечуючи безпечне поводження.
●Фотолітографія: Для транспортування та обробки пластин між різними етапами фотолітографії (наприклад, нанесення покриття, експонування, проявлення) наші носії забезпечують стабільну та чисту платформу.
Кожне застосування використовує унікальні властивості кварцу для підтримки високих стандартів чистоти, контролю температури та механічної стабільності, необхідних для виробництва передових напівпровідникових приладів.
конкурентні переваги
Переваги сервісу Semixlab
У Semixlab ми є надійним виробником високочистих кварцових носіїв пластин з великим досвідом у виробництві напівпровідникових компонентів. Ми пропонуємо:
● Дизайн та виробництво на замовлення – Індивідуальні розміри, кількість слотів та конструкції носіїв відповідно до конкретних розмірів пластин (4", 6", 8", 12 дюймів) та типів печей.
● Технічна консультація – Рекомендації щодо конкретних процесів для оптимізації врожайності та скорочення часу простою.
● Послуги з прототипування та зразків – Швидке прототипування та оцінка зразків для кваліфікованих проектів.
● Суворий контроль якості – Виробництво з сертифікацією ISO та 100% перевірка перед відправкою.
Наші Послуги
Магазин продуктів Semixlab
