Кільце з твердого карбіду кремнію з краєм

Основні характеристики продуктивності

Кільце Semixlab Bulk SiC Edge Ring розроблене для задоволення суворих вимог виробництва напівпровідників наступного покоління. Наступні характеристики продуктивності роблять його кращим вибором для камер плазмового травлення на передових заводах:

● Відмінна стійкість до плазмового бомбардування

Виготовлене з високочистого твердого карбіду кремнію, крайове кільце демонструє виняткову стійкість до плазми високої щільності, забезпечуючи мінімальний знос і тривалий термін служби компонентів під час інтенсивного іонного бомбардування.

● Чудова стійкість до газової корозії

Матеріал SiC пропонує високу хімічну інертність, ефективно протистоїть агресивним травильним газам, таким як Cl₂, CF₄ та SF₆, без деградації поверхні, навіть у середовищах з високими температурами.

● Видатна стійкість до теплових ударів та термічних деформацій

З теплопровідністю 120-150 Вт/м·K та низьким коефіцієнтом теплового розширення (~4.5×10⁻⁶/K), тверда структура SiC зберігає розмірну стабільність та механічну цілісність під час швидкого термоциклування.

● Гладка поверхня, робота без частинок

Передові методи обробки поверхні забезпечують низьку шорсткість поверхні (Ra ≤ 0.2 мкм), мінімізуючи утворення частинок та спрощуючи процеси очищення камери, що зменшує час простою.

● Відсутність деформації та викривлення з часом

На відміну від звичайних композитних крайових кілець, наша монолітна конструкція з карбіду кремнію залишається плоскою та розмірно стабільною протягом тривалих технологічних циклів, забезпечуючи надійну роботу та тривалий термін служби.

Чому варто обрати кільця з карбіду кремнію Semixlab?

У Semixlab ми пропонуємо найвищу якість, підкріплену досвідом та інноваціями. Ось чому кільця Semixlab SiC Edge виділяються:

● Індивідуальні рішення

Ми пропонуємо повне налаштування відповідно до ваших технічних характеристик процесу, включаючи внутрішній/зовнішній діаметр, товщину та спеціальні покриття або текстури поверхні, що забезпечує ідеальну посадку та оптимальну продуктивність у вашій камері травлення.

● Широкий асортимент типів

Semixlab підтримує різні платформи інструментів для травлення, включаючи TEL, Lam, AMAT та спеціальні OEM-системи, з доступними як стандартними, так і спеціалізованими кільцями для обробки кромок, що відповідають різноманітним потребам процесу.

● Стабільна якість, швидка доставка

Завдяки виробництву, сертифікованому за стандартами ISO, суворому контролю якості та оптимізованому ланцюжку поставок, ми гарантуємо стабільну якість деталей, короткі терміни виконання замовлень та своєчасну доставку, щоб ваше виробництво працювало без затримок.

Основні фізичні властивості твердого SiC

Застосування у виробництві напівпровідників

Кільце з твердого карбіду кремнію (SiC Edge Ring) є важливим компонентом у процесі плазмового травлення кремнієвих пластин, де воно служить захисним та структурним інтерфейсом між пластиною та обладнанням камери. Розташований навколо краю пластини, цей компонент забезпечує стабільність процесу, захищає електростатичний затискач (ESC) та зменшує ризики забруднення, запобігаючи накопиченню частинок. Він особливо цінний у середовищах високоточного сухого травлення та реактивного іонного травлення (RIE), де повторюваність процесу, захист камери та довгострокова надійність є критично важливими.