Човен з високочистого SiC

Човник з високочистого карбіду кремнію (SiC) – це високопродуктивний керамічний носій, призначений для високотемпературних напівпровідникових процесів, вирощування кристалів та прецизійної термічної обробки. Він спечений з надвисокочистим матеріалом SiC та має чудову стійкість до високих температур, термостійкість та хімічну стабільність. Він широко використовується в дифузії напівпровідників, CVD, світлодіодній епітаксії та вирощуванні фотоелектричних монокристалів.

Застосування:

Високочистий SiC-човен (SiC Boat) є ключовим витратним матеріалом для напівпровідникового процесу, який використовується переважно для перенесення та передачі пластин у високотемпературних середовищах, і широко застосовується в процесах дифузії, окислення, відпалу та CVD-обробки кремнієвих пластин. Він особливо підходить для високотемпературних процесів напівпровідників третього покоління (таких як SiC/GaN) та силових пристроїв.

Послуги, які можуть бути надані:

аналіз сценарію заявки клієнта, підбір матеріалів, вирішення технічних проблем.

Профіль компанії:

Semixlab має 2 лабораторії, команду експертів із 20-річним досвідом роботи з матеріалами, з можливостями науково-дослідних і розробних робіт, виробництва, випробувань і перевірки.

Технічні параметри

Основні сфери застосування

Підтвердження перевірки екологічного ланцюга

Екологічний ланцюг верифікації Semixlab High-Purity SiC Boat охоплює весь процес від сировини до виробництва, пройшов міжнародну сертифікацію та має низку запатентованих технологій, що забезпечують його надійність та стійкість у галузях напівпровідників та нової енергетики.

Типовий процес подання заявки

Підготовка сировини (порошок SiC високої чистоти) → Процес формування (сухе пресування/ізостатичне пресування) → Процес спікання → Механічна обробка та оздоблення поверхні (шліфування/полірування на верстатах з ЧПК, хімічне травлення, відпал) → Очищення та покриття CVD → Контроль якості → Упаковка

Завдяки передовій оптимізації параметрів процесу, унікальна структурна конструкція човника Semixlab High-Purity SiC забезпечує чудову стабільність пластини, водночас значно знижуючи ризик забруднення частинками. Термін його служби може сягати в 5-8 разів довшого, ніж у традиційних кварцових човників, що робить його ідеальним рішенням для високотемпературної обробки пластин. Ця інновація дозволяє йому поступово замінити імпорт на ринку напівпровідників, забезпечуючи високопродуктивне та економічно ефективне вітчизняне рішення.

Щоб отримати детальні технічні характеристики, офіційні документи або домовленості про тестування зразків, зверніться до нашої служби технічної підтримки, щоб дізнатися, як Semixlab може підвищити ефективність ваших процесів.

Переваги осердя Semixlab High-Pure SiC Boat

1. Надзвичайна чистота (ключова перевага)

Високочистий SiC-човен Semixlab має надвисоку чистоту (≥99.9999%), а вміст домішок (Fe, Al, Na тощо) контролюється на рівні 1 ppm, щоб уникнути забруднення пластин або епітаксіальних матеріалів, що особливо підходить для виробництва напівпровідників SiC/GaN.

2. Хімічна інертність (стійкість до корозії)

Стійкий до кислотної, лугової/плазмової ерозії, а також може протистояти агресивним газам, таким як HF, HCl, H2 (наприклад, під час травлення напівпровідників). Не виділяє газів за високих температур.

3. Механічна міцність та термін служби

Надвисока твердість, чудова зносостійкість, знижує ризик висипання частинок та подовжує термін служби (зазвичай у 3-5 разів більше, ніж у кварцового човника). Не легко деформується за високих температур, зберігаючи площинність пластини (наприклад, деформація в дифузійній печі <0.1 мм).

4. Сумісність процесів

Адаптується до різноманітних суворих середовищ, окислювально-відновних атмосфер (таких як O2, H2, Ar) та процесів CVD/PVD-покриття. Поверхню можна налаштувати, наприклад, полірувати (Ra < 0.1 мкм) або покривати (наприклад, SiO2) для подальшого зменшення забруднення.