Вуглецевий композитний тигель

У процесі вирощування кристалів кремнію (процес Чохральського) тигель C/C використовується переважно як структурна опора та елемент термостабілізації, що оточує внутрішній тигель з плавленого кварцу. Його низьке теплове розширення, висока механічна міцність та чудова стійкість до теплових ударів допомагають підтримувати геометрію тигля протягом тривалих циклів витягування, зменшуючи деформацію кварцу та забезпечуючи більш рівномірні градієнти температури. Це безпосередньо сприяє покращеному контролю дислокацій, довшому терміну служби кварцового тигля та підвищеній однорідності отриманого монокристалічного кремнієвого злитка.

У кремнієвих та карбід-кремнієвих епітаксіальних системах тигель з вуглецевого композиту служить стабільним високотемпературним носієм та компонентом для терморегуляції, підтримуючи токсцептори та структури для утримання пластин. Здатність композиту зберігати жорсткість та хімічну інертність у водневому, хлорованому або високовакуумному середовищі є важливою для мінімізації забруднення та досягнення передбачуваних теплових характеристик. Результатом є більш стабільна товщина епітаксіального шару, вища якість поверхні пристрою та покращений час безвідмовної роботи реактора.

Для вирощування монокристалів SiC за допомогою фізичного пароперенесення (PVT) тигель C/C стає основним компонентом сублімаційної камери. Надзвичайна високотемпературна здатність вуглець-вуглецевих композитів — понад 2200°C в інертних атмосферах — дозволяє тиглю витримувати тривалі цикли сублімації, підтримуючи стабільне теплове поле, критично важливе для зменшення дефектів у булах SiC. Низький вміст домішок та мінімальне утворення частинок знижують ризик ненавмисного легування та поширення мікротрубок, підтримуючи виробництво високоякісних кристалів SiC 4H та 6H, що використовуються в передовій силовій електроніці.

Розроблений для напівпровідникових матеріалів наступного покоління, тигель Semixlab C/C забезпечує вищу продуктивність, довший термін служби інструменту та чудову якість кристалів на різних виробничих платформах. Вуглецево-вуглецевий композитний тигель Semixlab виготовляється з суворим контролем процесу, включаючи вибір високочистого прекурсора, багатоступеневе ущільнення та запатентовану обробку поверхні. Результатом є тигель з чудовою розмірною стабільністю, підвищеною стійкістю до окислення та значно зниженим виділенням частинок порівняно зі стандартними графітовими альтернативами. Кожен продукт проходить точний контроль та термомеханічну валідацію, щоб забезпечити стабільну роботу в промислових знімачах CZ, вертикальних/горизонтальних епітаксійних реакторах та печах SiC PVT.