Вафельний човен з кварцу високої чистоти

Високочистий кварцовий човен з пластин виготовлений із синтетичного кварцового піску методом дугового плавлення, який має дуже низький коефіцієнт теплового розширення та чудову стійкість до теплових ударів, що гарантує відсутність ризику деформації або розтріскування в процесі швидкого підйому та падіння. Поверхня ретельно відполірована для зменшення забруднення частинками, що підходить для суворих та чистих умов у виробництві напівпровідників. Продукт підтримує індивідуальні розміри (довжина 100-500 мм, кількість слотів 2-24) та адаптується до різних розмірів пластин (4 "-12").

1. Характеристики основного матеріалу

Процес дугового плавлення синтетичного кварцового піску

Використовуючи кварцовий пісок надвисокої чистоти (чистота SiO₂ ≥99.999%), за допомогою технології дугового плавлення формується аморфна структура кварцового скла. Цей процес усуває дефекти меж зерен, значно покращує однорідність матеріалу та забезпечує стабільність вафельних човників за високих температур (≤1250 °C).

Ультранизький коефіцієнт теплового розширення

Коефіцієнт теплового розширення становить лише 5.5×10^-7K^-1(20-300 °C), що майже не дозволяє змінювати розміри під час швидкого підвищення та зниження температури (наприклад, 200 °C/хв у напівпровідникових процесах), уникаючи мікротріщин або деформації внаслідок термічного напруження.

Оптимізація стійкості до теплових ударів

Завдяки процесу градієнтного відпалу, різниця температур до термічного удару може досягати 1200℃ → кімнатної температури протягом понад 100 циклів без розтріскування, що відповідає суворим вимогам іонної імплантації, швидкого відпалу та інших процесів.

2. Точна обробка та обробка поверхні

Технологія нанорозмірного полірування

Шорсткість поверхні контролюється на рівні Ra ≤ 0.2 мкм, а хіміко-механічне полірування (CMP) у поєднанні з плазмовим травленням використовується для ефективного зменшення адсорбції частинок, а чистота відповідає стандарту SEMI F47 (кількість частинок ≤ 10 /[захищено електронною поштою]мкм).

Протиобростаюче покриття (необов'язково)

Поверхневе покриття з карбіду кремнію або нітриду кремнію можна налаштувати для зменшення коефіцієнта тертя контактної поверхні пластини (μ ≤ 0.05), зменшуючи ризик подряпин та міграції іонів металу.

Швидкий опис:

1. Інші назви: кварцовий човен, кронштейн для пластини.

2. Застосування: Перенесення та передача у високотемпературному процесі напівпровідникової пластини, придатної для дифузії, окислення та інших процесів.

3. Параметри ядра: чистота ≥99.99%, максимальна температуростійкість 1200℃, коефіцієнт теплового розширення 5.5×10^-7/℃.

1. Обробка напівпровідникових пластин (дифузійна піч, окислювальна піч).

2. Обробка кремнієвих пластин у фотоелектричній промисловості.

3. Експериментальний підшипник на пластині лабораторного класу для високотемпературних випробувань.

Провідна в галузі чистота, вміст металевих домішок <1 ppm.

Тривалий термін служби (≥500 циклів високої температури).

Підтримка нестандартного налаштування, короткий цикл доставки.