Ущільнювальні кільця з ізостатичної графіту високої чистоти

Ущільнювальні кільця з ізостатично-графітового високого класу від Semixlab виготовляються з надчистого ізостатично пресованого графіту. Ці ущільнювальні кільця забезпечують стабільну герметизацію з низьким рівнем забруднення, що безпосередньо сприяє надійності процесу, стабільності виходу та часу безвідмовної роботи обладнання в передових процесах виготовлення пластин.

В епітаксійних системах, де важливим є точний контроль потоку газу, стабільність тиску та теплова однорідність, ущільнювальні кільця Semixlab з високочистого ізостатичного графіту відіграють вирішальну роль у підтримці цілісності реактора за стійких температур, що часто перевищують 1000 °C. Встановлені на межі розділу камер, герметизуючих межах та обертових або стаціонарних з'єднаннях у гарячій зоні, ці ущільнювальні кільця демонструють низьке та ізотропне теплове розширення, що дозволяє їм підтримувати розмірну стабільність під час багаторазових термоциклів. Їхній винятково низький вміст металевих домішок мінімізує ризик ненавмисного включення легуючих домішок або забруднення металом, допомагаючи забезпечити рівномірну товщину епітаксіального шару, контрольовані профілі легування та високоякісний кристалічний ріст як у кремнієвих, так і в складних напівпровідникових епітаксіях.

У застосуваннях CVD, LPCVD та PECVD ущільнювальні компоненти піддаються впливу комбінації високої температури, вакууму, агресивних газів-прекурсорів, а в деяких випадках і плазмового середовища. Високочисті ізостатичні графітові ущільнювальні кільця Semixlab широко використовуються в ущільненнях дверей камер, газоізоляційних конструкціях та перехідних зонах між гарячими та холодними областями реактора. Власна хімічна стійкість високочистого графіту забезпечує стабільну роботу в присутності агресивних технологічних газів, таких як HCl, NH₃ та прекурсори на основі галогенів, тоді як щільна ізотропна мікроструктура зменшує утворення частинок та механічну деградацію протягом тривалого терміну служби. Порівняно з металевими ущільнювальними розчинами, графітові ущільнювальні кільця забезпечують чудову стійкість до корозії та термічної втоми, що сприяє подовженню інтервалів технічного обслуговування та покращенню повторюваності процесу у великосерійному виробництві.

Високотемпературна дифузія, окислення та швидка термічна обробка висувають суворі вимоги до герметичності через екстремальні температури, швидке нарощування температури та часті цикли обробки. У цих середовищах високочисті ізостатичні графітові ущільнювальні кільця Semixlab підтримують стабільну герметичність за температур понад 1100 °C, підтримуючи стабільний контроль атмосфери в трубах печі та камерах RTP. Однорідні механічні властивості, що забезпечуються ізостатичним пресуванням, допомагають запобігти локалізованій концентрації напружень, мікротріщинам та деформації ущільнення під час швидкого нагрівання та охолодження, тим самим сприяючи стабільним профілям дифузії легуючих домішок, рівномірному зростанню оксиду та повторюваним результатам термічної обробки, що є критично важливим для виготовлення передових логічних пристроїв та пристроїв пам'яті.

У процесі травлення, включаючи застосування сухого травлення, що використовують хімічні речовини на основі галогенів та середовища з плазмою, ущільнювальні кільця необхідні для підтримки вакуумної цілісності, обмежуючи при цьому утворення частинок та хімічну деградацію. Ущільнювальні кільця Semixlab з високочистого ізостатичного графіту зазвичай використовуються в зонах, що не піддаються прямому впливу плазми, таких як ущільнювальні поверхні периферійної камери та області структурної ізоляції. У поєднанні з відповідним ущільненням поверхні або захисними покриттями ці ущільнювальні кільця забезпечують надійну стійкість до агресивних газів травлення та термічних напружень, підтримуючи стабільні умови в камері та зменшуючи ризик втрати виходу, пов'язаної з забрудненням.

Розроблені з акцентом на чистоту матеріалу, структурну стабільність та довгострокову надійність, високочисті ізостатичні графітові ущільнювальні кільця Semixlab сумісні з передовими технологіями покриття та інтегровані в складні архітектури напівпровідникового обладнання, що робить їх надійним рішенням як для передових, так і для зрілих технологічних вузлів. Забезпечуючи стабільну герметизацію в найвимогливіших технологічних умовах, Semixlab допомагає виробникам напівпровідників досягати вищої продуктивності, покращувати використання обладнання та зменшувати загальну вартість володіння. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.