Продукти

Вакуумний патрон з пористої кераміки

Швидкий опис:

1. Інші назви: Пористий керамічний вакуумний патрон, пористий SiC патрон, пористий патрон.

2. Застосування: Високопродуктивний вакуумний адсорбційний пристрій, призначений для прецизійної адсорбції та фіксації пластин і злитків, підходить для виробництва напівпровідників, різання пластин, прецизійної обробки, високотемпературної епітаксії, травлення, іонної імплантації та інших сценаріїв.

3. Основні параметри:

Регульована пористість (10-200 мкм).

Надвисока температура (≤1600°C), відмінна стійкість до теплових ударів.

Адсорбційний вакуум: стандартний -90 кПа (можна налаштувати до 100 кПа).

Розмір присоски: Підтримка пластин 4/6/8/12 дюймів, розмір злитка можна налаштувати.

ЗАПИТ

Опис

Керамічний вакуумний патрон – це високопродуктивний вакуумний адсорбційний пристрій, призначений для прецизійної адсорбції та фіксації пластин і злитків. Він має композитну структуру з пористого керамічного та металевого зовнішнього кільця в поєднанні з індивідуально розробленими повітряними каналами та порами для досягнення рівномірного розподілу сили адсорбції та високої стабільності. Підходить для виробництва напівпровідників, різання пластин, прецизійної обробки та інших сценаріїв, підтримує високі температури та швидкісні рухи, може відповідати вимогам сумісності пластин/злитків різних розмірів.

Індивідуальне обслуговування

Налаштування розміру та навантаження

Оптимізація продихів та дихальних шляхів

Адаптація до особливого середовища

Приклад дизайну

додатків

Виготовлення напівпровідників

Епітаксіальне зростання: стабільна адсорбція пластин SiC за високих температур, що запобігає деформації та забрудненню.

Літографія та травлення: точне позиціонування на високошвидкісній рухомій платформі (прискорення ≤10G) для забезпечення точності графічного вирівнювання.

Обробка злитків

Різання та шліфування: Адсорбція злитків важких кристалів (таких як сапфір, злиток карбіду кремнію) для придушення розтріскування крайок, спричиненого вібрацією.

Наукові дослідження та спеціальні технології

Високотемпературний відпал: пористі присоски з карбіду кремнію працюють тривалий час при 1600°C, без деформації та викиду забруднень.

Вакуумне покриття: конструкція з високою герметичністю, сумісна з середовищем порожнини PVD/CVD.

конкурентні переваги

Основна структура та переваги матеріалу

1. Багатошарова композитна конструкція

Поверхневий шар: Пориста кераміка (за бажанням пористий карбід кремнію або пористий графіт), регульована апертура (10-200 мкм) для забезпечення рівномірної передачі сили адсорбції на поверхню пластини та уникнення локальної концентрації напружень.

Матриця: Високожорстка металева рама (з нержавіючої сталі або алюмінієвого сплаву) для забезпечення структурної підтримки та герметичності.

Дихальні шляхи та пори: Внутрішня мережа точно оброблених дихальних шляхів та рівномірно розподілених мікропор забезпечує швидку вакуумну екстракцію (сила адсорбції до -90 кПа) та миттєве вивільнення.

2. Порівняння властивостей матеріалів

Матеріальна	Пористий карбід кремнію	Пористий графіт
Температурна стійкість	Надвисока температура (≤1600°C), відмінна стійкість до термічних ударів	Середньо-висока температура (≤800°C), краща теплопровідність
Хімічна стійкість	Стійкість до кислотної та лугової корозії, стійкість до плазмової корозії	Стійкий до неокислювальних газів, нижча вартість
Застосовується сцена	Високотемпературна епітаксія, травлення, іонна імплантація	Різання, шліфування, упаковка вафель

3. Ключові показники та технічні параметри

Опис	Зауваження
Розмір патрона	Підтримка пластин 4/6/8/12 дюймів, розмір злитків можна налаштувати
Loading	Максимальне навантаження на одну плиту 50 кг (висота ≤300 мм)
Робоча температура	Пористий карбід кремнію: -50°C~1600°C; Пористий графіт: -50°C~800°C
Адсорбційний вакуум	Стандартний -90 кПа (можливість налаштування до -100 кПа)

FAQ

З: Як вибрати патрон з пористого карбіду кремнію та пористого графіту? Які основні відмінності між патроном з пористого карбіду кремнію та пористого графіту у високотемпературних процесах? Як вибрати правильний матеріал для конкретного сценарію застосування?

A: Пористий карбід-кремнієвий патрон:

Термостійкість: може стабільно працювати за екстремально високих температур ≤1600°C (наприклад, епітаксія SiC, високотемпературний відпал), відмінна термостійкість, підходить для місць різких коливань температури.

Корозійна стійкість: стійкість до сильної кислотної, лугової та плазмової ерозії, придатна для травлення, іонної імплантації та інших агресивних газових процесів.

Пористий графітовий патрон:

Теплопровідність: Вища теплопровідність (200-400 Вт/м·K), підходить для сценаріїв, що вимагають швидкої теплопередачі (наприклад, відведення тепла при різанні пластин).

Економіка: Низька вартість, підходить для середовища середньої температури ≤800°C (наприклад, для упаковки, подрібнення).

Пропозиції щодо вибору:

Якщо температура процесу перевищує 800°C або потрібна стійкість до корозії, перевага надається пористому карбіду кремнію; якщо ж прагнуть економічної ефективності та низької температури процесу, можна обрати пористий графіт.