Дифузійна трубка з кварцу високої чистоти

Дифузійна трубка Semixlab з високочистого кварцу спеціально розроблена для високотемпературних термічних процесів у виробництві напівпровідників, включаючи окислення, дифузію легуючих домішок та відпал.

Виготовлена ​​з надчистого плавленого кварцу (≥99.99% SiO₂), кожна трубка розроблена для забезпечення виняткової хімічної стабільності, мінімального забруднення та точної термічної однорідності, що гарантує стабільні результати обробки пластин у вимогливих чистих приміщеннях.

Незалежно від того, чи інтегровані вони у вертикальні чи горизонтальні дифузійні печі, кварцові трубки Semixlab виготовляються з високою точністю та ретельно протестовані, щоб відповідати суворим вимогам виробництва інтегральних схем, світлодіодів, мікроелектромеханічних систем (MEMS) та силових пристроїв.

Застосування в напівпровідникових процесах

1. Термічне окислення

У печах термічного окислення кварцові дифузійні трубки діють як основна реакційна камера, де кремнієві пластини піддаються впливу парів O₂ або H₂O за підвищених температур (900–1150°C).

● Забезпечує чисте та стабільне кисневе середовище для рівномірного росту SiO₂.

● Усуває забруднення іонами металів, забезпечуючи високу діелектричну цілісність затвора та ізоляційних оксидів.

Дифузійна трубка з високочистого кварцу ідеально підходить для обробки пластин

2. Дифузія легуючої домішки

Кварцові дифузійні трубки використовуються для дифузії атомів легуючих домішок (таких як фосфор або бор) у кремнієву підкладку для створення бажаних профілів переходу.

● Відмінна хімічна інертність запобігає забрудненню під час реакцій з POCl₃ або BBr₃.

● Зберігає високу чистоту навіть у галогенних середовищах.

3. Процеси відпалу та введення в експлуатацію

Після іонної імплантації або осадження пластини піддаються високотемпературному відпалу для активації легуючих домішок та відновлення пошкоджень кристалічної решітки.

● Кварцові трубки забезпечують термічно рівномірну камеру з низьким рівнем забруднення для стабільних та відтворюваних результатів.

● Підходить для відпалу як у середовищі N₂, так і в атмосфері формувального газу.

4. LPCVD та термічна обробка досліджень та розробок

У невеликих LPCVD або дослідницьких печах кварцові дифузійні трубки можуть служити як реакційною, так і герметичною камерою.

● Ідеально підходить для нанесення полікремнію, нітриду кремнію та оксидних плівок.

● Забезпечує низький рівень утворення частинок та високу повторюваність між циклами.

Переваги Semixlab

1. Чистота та простежуваність матеріалу

Кожна кварцова трубка виготовлена ​​з надчистого плавленого кварцу, що постачається від сертифікованих постачальників. Звіти аналізу ICP-MS надаються за запитом, що гарантує відстеження кожної партії.

2. Точне виробництво та налаштування

Semixlab пропонує індивідуальні конструкції, що відповідають конкретним розмірам печі, тепловим профілям та схемам потоку газу, необхідним клієнтам.

Опції включають:

● Вертикальна або горизонтальна конфігурація труб

● Індивідуальні діаметри, товщини стінок та торцеві фланці

● Полірована або травлена ​​поверхня

● Спеціальні конструкції для обробки багатошарових пластин

3. Ретельне тестування та забезпечення якості

Кожна дифузійна трубка перед відправкою проходить перевірку розмірів, випробування на цілісність поверхні та моделювання термічних напружень. Це забезпечує сумісність з провідними галузевими системами дифузійних печей, такими як TEL, Kokusai, Centrotherm та ASM.