Напівпровідниковий кварцовий пластинчастий човник

Кварцові підшипники Semixlab Semiconductor – це ключові підшипникові інструменти, призначені для високотемпературних процесів, таких як дифузія, окислення, CVD, відпал тощо у виробництві напівпровідників. Виготовлені з високочистого синтетичного кварцу з відмінною стійкістю до високих температур, хімічною стабільністю та низьким коефіцієнтом теплового розширення, вони можуть стабільно переносити пластини в суворих технологічних умовах, забезпечуючи стабільність процесу та вихід продукції.

Застосовуване обладнання: Сумісний з усіма видами горизонтальних/вертикальних дифузійних печей (горизонтальна/вертикальна дифузійна піч), системою LPCVD та обладнанням для швидкої термічної обробки (RTP).

Гарантія якості

Strict quality control: 100% helium mass spectrometry leak detection (leakage rate <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Material purity report (ICP-MS test) is issued for each batch.

Стандарти сертифікації: Відповідно до специфікацій SEMI F47, через сертифікацію системи управління якістю ISO 9001:2015.

Термін служби: середній термін служби за нормальних умов становить понад 2 роки (залежно від частоти процесу та температурних умов).

Чому варто обрати наш кварцовий човен?

Індивідуальні послуги: індивідуальні розміри та конструкція відповідно до моделі обладнання (TEL, Kokusai, ASM тощо) та вимог процесу.

Швидка відповідь: Стандартний термін доставки становить 3 тижні, термінові замовлення можуть бути скорочені до 10 робочих днів.

Глобальна сервісна мережа: Надання технічних консультацій, інструкцій з встановлення та післяпродажного обслуговування. Специфікації матеріалів.

Специфікація проекту

Синтез матеріалів: плавлений кварц

Чистота ≥99.99% SiO₂

Сумісність розмірів пластин 8", 12" (можна налаштувати 6" або 18")

Робоча температура ≤1200°C (безперервно) / 1300°C (піково)

Коефіцієнт теплового розширення (КТР) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)

Шорсткість поверхні (Ra) ≤0.2 мкм

Стандартна місткість 25/50/100 таблеток

Застосовувані технологічні гази O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl тощо

Високотемпературне окислення/дифузія: легування кремнієм (дифузія фосфором, бором), ріст оксиду затвора.

Осадження тонких плівок: полікристалічний кремній методом LPCVD, осадження нітриду кремнію (Si₃N₄).

Процес відпалу: відпал після іонної імплантації (RTA), легування металів.

Напівпровідник третього покоління: карбід кремнію (SiC), нітрид галію (GaN), епітаксія.

1. Характеристики матеріалу

Кварц надвисокої чистоти (>99.99% SiO₂): запобігає забрудненню іонами металів (Na+, K+, Fe³+ тощо) та відповідає вимогам чистоти для передових процесів (вузли <5 нм).

Висока термостійкість: тривала робоча температура 1200°C, миттєва термостійкість 1300°C, відсутність ризику деформації або кристалізації.

Хімічна інертність: Стійкий до технологічних газів, таких як HCl, H₂, O₂, SiH₄ та кислотних/лужних середовищ. Не викликає корозії при тривалому використанні.

2. Точний дизайн

Оптимізуйте структуру:

Точність відстані між слотами становить ±0.05 мм, що забезпечує точне позиціонування пластини (8/12 дюйма) та запобігає подряпинам або зміщенню.

Конструкція, стійка до термічних ударів, адаптується до швидкого підйому та падіння (швидкість нагрівання ≤20°C/хв).

Низький рівень утворення частинок: поверхня надточно полірована (Ra ≤0.2 мкм) для зменшення прилипання та відшаровування частинок.

3. Диверсифікована конфігурація

Місткість (додатково): Підтримка 25, 50, 100 та інших стандартних специфікацій, також можна налаштувати нестандартний номер слота.

Адаптація типу: відкритий човен, закритий човен або спеціальний тип човна (наприклад, конструкція каналу відведення на дні човна).

Q1: Чи можете ви надати нестандартний розмір або спеціальний дизайн?

A1: Semixlab підтримує індивідуальні послуги, включаючи регулювання розміру, верхньої межі температури (потрібне оновлення матеріалу) або типу інтерфейсу. Будь ласка, зверніться до технічної команди Semixlab для отримання конкретних вимог.

Q2: Скільки триває час виконання?

A2: Термін доставки стандартних продуктів становить 4-6 тижнів, а час проектування та перевірки індивідуальних продуктів – 2-3 тижні.

Q3: Чи надаєте ви післяпродажну технічну підтримку?

A3: Так, ми надаємо послуги технічних консультацій та екстреного реагування протягом усього терміну служби. У разі виникнення проблем із встановленням або використанням, зі службою підтримки можна зв’язатися будь-коли електронною поштою або телефоном.

Q4: Чи відповідає продукт стандартам напівпровідникової промисловості?

A4: Так, виробничий процес відповідає стандартам SEMI та сертифікований системою управління якістю ISO 9001. Кожна партія проходить випробування на герметичність, термостійкість та чистоту перед відправкою з заводу.