Консольні весла з карбіду кремнію

Ⅰ. Консольні лопаті з високочистого карбіду кремнію для точного поводження з пластинами

Консольні лопаті з карбіду кремнію (SiC) є критично важливими компонентами, що використовуються в обладнанні для термічної обробки для обробки пластин під час епітаксії, дифузії та окислення у виробництві напівпровідників. Їхні виняткові теплові та механічні властивості роблять їх ідеальними для високотемпературних та агресивних середовищ у чистих приміщеннях.

Ⅱ. Огляд продукту та функціональні переваги

1. Виняткові властивості матеріалу для високопродуктивних застосувань

Консольні пластини Semixlab з карбіду кремнію (SiC) виготовляються з високочистих, перекристалізованих карбід-кремнієвих (R-SiC) або CVD-SiC покриттів, що забезпечують чудову теплопровідність (до 120 Вт/м·K), низьке теплове розширення (~4.0 x 10⁻⁶/K) та виняткову стійкість до корозії та теплових ударів. Ці властивості забезпечують стабільну підтримку пластини під час високотемпературних процесів, мінімізуючи ризики деформації пластини або забруднення.

2. Чудова розмірна стабільність та площинність

Завдяки мінімальній деформації навіть за температур понад 1400°C, консольна конструкція забезпечує рівномірне розміщення та перенесення пластини, що життєво важливо для однорідності епітаксіального шару. Низька маса та висока жорсткість SiC покращують пропускну здатність системи та температурну реакцію під час швидкої термічної обробки.

3. Чистота поверхні, що відповідає стандартам чистої кімнати

Завдяки щільній та гладкій поверхні з карбіду кремнію (SiC), лопаті Semixlab мінімізують утворення частинок та виділення газів. Це особливо важливо в середовищах, що вимагають рівня чистоти класу 1 або класу 2 за стандартом ISO 14644-1.

4. Призначено для епітаксіальних, дифузійних та CVD печей

Наші консольні лопаті з карбіду кремнію широко використовуються в печах для MOCVD, LPCVD та окислювальних печей, сумісні з обладнанням провідних брендів, таких як ASM, TEL та Veeco. Вони розроблені для оптимальної термічної однорідності та механічної точності, що допомагає забезпечити вищий вихід та меншу варіацію процесу.

Ⅲ. Чому варто обрати Semixlab?

Ми надаємо індивідуальні інженерні послуги, зокрема:

● Налаштування продукту за розміром, структурою та класом матеріалу

● Оптимізація покриття для підвищення термічної та хімічної стійкості

● Швидке створення прототипів та можливості виробництва невеликих партій

● Технічні консультації та перевірка дизайну

Як провідний китайський виробник та фабрика консольних лопатей з карбіду кремнію (SiC), Semixlab наполягає на наданні індивідуальних технологічних та продуктових рішень. Незалежно від того, чи бажаєте ви оптимізувати існуючий процес термічної обробки, придбати високопродуктивні запасні частини чи спільно розробити індивідуальні рішення з карбіду кремнію, Semixlab надасть вам технічну підтримку та підтримку з постачання.

● Носії епітаксіальних пластин MOCVD

● Лопатеві важелі окислювально-дифузійної печі

● Системи завантаження пластин в інструменти LPCVD/CVD

● Спеціалізовані опорні кронштейни токсцепторів для вирощування складних напівпровідників