Кераміка SiC

Кераміка з карбіду кремнію (SiC) дедалі частіше використовується в напівпровідниковому обладнанні, головним чином тому, що вона краще витримує складніші умови. Коли температура підвищується або процес стає більш агресивним, такі матеріали, як кварц або кремній, можуть почати демонструвати обмеження, і саме тут зазвичай на допомогу приходить SiC. У печних процесах, таких як окислення або дифузія, такі деталі, як пластинчасті човники або лопатки, виготовлені з SiC, як правило, служать довше. Вони зберігають свою форму та не забруднюються сильно навіть після тривалого використання. З цієї причини люди часто переходять з кварцу, особливо коли технічне обслуговування стає занадто частим.

Для травлення часто вибирають SiC просто тому, що він довше витримує плазму. Різниця в терміні служби порівняно з кремнієвими деталями помітна в багатьох установках, хоча вона все ще залежить від конкретного процесу. Це також трохи допомагає з контролем частинок, який стає більш чутливим, коли вузли стискаються. Ви також побачите, як SiC використовується як токоприймачі в MOCVD або CVD. У цих випадках справа не стільки в «міцності», скільки в підтримці стабільної температурної поведінки. Окрім цього, він проявляється в деталях камер, таких як вкладиші або душові лійки, а іноді й у компонентах для обробки.